幸运飞艇冠军固定公式

欢迎光临佛山市鑫恒达蚀刻有限公司官方网站! 加入收藏 | 联系我们

鑫恒达蚀刻

中国高端精密蚀刻制造商

什么是精密五金蚀刻的干式蚀刻技术?

文章出处:未知 人气:发表时间:2018-04-14 15:02
        精密五金蚀刻中的干式蚀刻(又称为电浆蚀刻)是目前最常用的蚀刻方式,其以气体作为主要的蚀刻媒介,并藉由电浆能量来驱动反应。在半导体的制程中,蚀刻被用来将某种材质自晶圆表面上移除。
电浆对蚀刻制程有物理性与化学性两方面的影响。首先,电浆会将蚀刻气体分子分解,产生能够快速蚀去材料的高活性分子。此外,电浆也会把这些化学成份离子化,使其带有电荷。
  晶圆系置于带负电的阴极之上,因此当带正电荷的离子被阴极吸引并加速向阴极方向前进时,会以垂直角度撞击到晶圆表面。芯片制造商即是运用此特性来获得绝佳的垂直蚀刻,而后者也是精密五金蚀刻的干式蚀刻的重要角色。
  基本上,随着所欲去除的材质与所使用的蚀刻化学物质之不同,蚀刻由下列两种模式单独或混会进行:
  1. 电浆内部所产生的活性反应离子与自由基在撞击晶圆表面后,将与某特定成份之表面材质起化学反应而使之气化。如此即可将表面材质移出晶圆表面,并透过抽气动作将其排出。
  2. 电浆离子可因加速而具有足够的动能来扯断薄膜的化学键,进而将晶圆表面材质分子一个个的打击或溅击出来。
上一篇:没有了 下一篇:没有了
此文关键词:什么,精密,五金,蚀刻,干式,技术,精密,五金,蚀刻,中的,
网站幸运飞艇冠军固定公式关于我们产品中心工程案例幸运飞艇冠军固定公式销售网络客户留言联系我们

版权所有:佛山市鑫恒达蚀刻有限公司 技术支持:点精网络

叶生:13450777361

地址:佛山市禅城区张槎大富工业区

幸运飞艇前五后五技巧 幸运飞艇分析图 幸运飞艇长龙最高记录 幸运飞艇长龙最高记录 幸运飞艇长龙最高记录 幸运飞艇走势如何看 幸运飞艇长龙分析 幸运飞艇杀1码计划 幸运飞艇怎么选号 幸运飞艇怎么玩稳赚